Buefordampning tyndfilmsudstyr

Dette katodisk lysbuefordampningssystem fordamper faste katodemål via en elektrisk lysbue med lav-spænding og høj-strøm for at generere fuldt ioniseret metalplasma. Sammenlignet med standard termisk fordampning eller magnetronforstøvning leverer denne PVD-proces højere plasmadensitet og overlegen film-til-underlagsvedhæftning, skræddersyet til funktionelle, slidbestandige- og dekorative hårde belægninger.

Magnetisk filtrerede kilder:Interne magnetiske kanaler afbøjer uioniserede mikrodråber væk fra dampfluxen, hvilket sikrer lav overfladeruhed (Ra) for præcisionsdele.

Lukket-løkkebiaskontrol: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 um).

Høj ioniseringshastighed:Plasmaioniseringseffektiviteten når 40 % - 80 %, hvilket driver tæt kemisk binding uden ekstern radiofrekvensassistance.

Modulært kammerdesign:Fremstillet af 304/316L rustfrit stål med elektro-polerede indvendige overflader (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.

Skrubbe- og rodpumper:To--skovlepumper parret med mekaniske boosterblæsere håndterer indledende skrub og høje gasbelastninger under reaktiv N2- eller C2H2-injektion.

Højvakuumpumper:Magnetiske levitationsturbo-molekylære pumper (1200 - 3200 L/s) opretholder høje pumpehastigheder for resterende vanddamp og lette gasser.

Ventiler og måler:Pneumatiske gateventiler, ISO/CF høje-vakuumforseglingsflanger og kombinerede Pirani/hot-katodeioniseringsmålere integreret direkte i PLC-låsesløjfen.

Kompatible katodemål
Rene metaller:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Ni, Ag, Mo, W

Legeringer og forbindelser:TiAl, CrAl, TiSi, WC, grafitmål til diamant-lignende kulstof (DLC) aflejring

Underlagsmaterialer
Hårde metaller og karbider:Hårdmetal (WC-Co), høj-stål (HSS), skæreindsatser i rustfrit stål

Halvledere og keramik:Siliciumwafers, aluminiumoxid (Al2O3), teknisk teknisk keramik

Skæreværktøj og matricer:TiN, TiAlN og CrN aflejring på bor, endefræsere og stansematricer for at øge overfladens hårdhed til 2500 - 3500 HV og reducere friktionen.

Bilkomponenter:Slidfaste- og lav-friktionslag på stempelringe, injektorstifter og tandhjulstænder.

Dekorative hårde belægninger:PVD-farvebelægninger (guld, rosaguld, gunmetal, sort titanium) til hardware- og forbrugerelektronikhuse.

Funktionelle tynde film:Ledende og barrierelag til mikroelektronik og halvlederemballage.

Kammerstørrelse:Skalerede volumenvariationer, der matcher specifikke batchgeometrier og produktionsfodspor.

Kildehybridisering:Multi-katode-integrationer, der kombinerer katodiske buekilder med ubalanceret magnetronsputtering (UBMS) katoder til gradient-flerlagsfilm.

Underlagsfastgørelse:Brugerdefinerede planetariske jigs, lokaliserede varmesystemer op til 600 grader og tilpassede strømgennemføringer.

Softwareintegration:Brugerdefineret PLC-opskriftslogik, SCADA-datalogning og industriel overholdelseskonfigurationer.

Lækagedetektion:Helium massespektrometer test på alle kamre og svejsesømme, der garanterer en samlet lækagerate på<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.

Elektrisk sikkerhedsinspektion:Højt-potentiale dielektrisk modstå test, jordforbindelseskontinuitetstjek og interlock responsverifikation før kasser.

Materiale sporbarhed:Materialetestrapporter (MTR'er) leveres for strukturelt rustfrit stål, vakuumtætninger og højspændingsisoleringskomponenter-.

Prøvekørsel før-forsendelse:72-timers kontinuerlig tørkørselstest af pumpepakken, rotationsdrev og strømforsyninger under simulerede cyklusser.

Vejledning til forberedelse af websted:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 m^3/h ved 20 - 25 grader), udstødningsudsugning og elektriske fald (380V/480V, 3-faset, 50/60Hz).

Ibrugtagning og accept:Factory Acceptance Testing (FAT) på vores anlæg; Site Acceptance Testing (SAT) og procesoverdragelse udført på -stedet af lokale ingeniører.

Livscyklussupport:Sikker VPN-fjerndiagnostik, lagerbeholdning af reservedele (mål, skjolde, tætninger) og lokal teknikerundervisning.