Industriel fysisk dampaflejring (PVD) platform udviklet til høj-syntese af tætte, slidbestandige- og funktionelle hårde belægninger. Opretholdelse af en høj-, lav-katodisk lysbueudledning på faste måloverflader genererer en 80 % til næsten 100 % ioniseret plasmastrøm.
Kombineret med programmerbar negativ substratforspænding driver denne høje kinetiske energi atomare -skala grænsefladeblanding, hvilket giver overlegen filmadhæsion og nul søjleformet porøsitet. Kammerarkitekturen understøtter modulære multi-katodekonfigurationer til automatisk afsætning af enkelt-lags, flerlags-nano-laminater og støkiometriske gradientbelægninger (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).
Tekniske specifikationer
|
Parameter |
Teknisk specifikation |
|
Kammerdimensioner |
Brugerdefineret cylindrisk/rektangulær (Standard: Phi 800 mm x 1000 mm op til Phi 2000 mm) |
|
Kammerstruktur |
Dobbelt-vægget SUS304/316L rustfrit stål med integrerede spiralkølevandskanaler |
|
Ultimativt vakuumtryk |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Backed by magnetic levitation turbomolecular + roots-rotary pump stack) |
|
Pumpe-Ned cyklus |
Atmosfære til 6,0 x 10^-3 Pa in<= 15 minutes |
|
Katodebuekilder |
4 til 8 uafhængige DC-kanaler (Phi 85 mm / Phi 100 mm vand-afkølede målholdere) |
|
Arc Power Output |
0-200 A trinløst justerbar pr. kanal; integreret mikrosekund bue quenching |
|
Substrat Bias Supply |
0-1000 V justerbar, pulserende DC-udgang (frekvensområde 10-50 kHz) |
|
Opvarmning af underlag |
Kvarts infrarød lampe array; driftsloft 600 grader (+/- 5 graders ensartethed) |
|
Fixture Motion |
Planetarisk eller dobbelt-akserotation via magnetiske fluid-roterende gennemføringer (0-5 RPM) |
|
Styringsarkitektur |
PLC + Industrial PC (IPC) kører i realtid-opskriftsudførelse med fastkablede sikkerhedslåse |
Nøglefunktioner
Høj ioniseringshastighed:Direkte katodisk fordampning konverterer metallisk flux til ioner med høj-densitet, hvilket fremmer tætte kornstrukturer uden mikro-hulrum.
Aktiv magnetisk styring:Programmerbare elektromagnetiske spoler fejer buepunktet hen over målflader, undertrykker lokaliseret kraterdannelse og driver målmaterialeudnyttelsen ud over 60 %.
Dynamisk gaskontrol:Closed-loop Mass Flow Controllers (MFC'er) regulerer reaktiv gasinjektion (N2, O2, C2H2) via real-partialtrykfeedback.
Multi-kildesynergi:Kammervægge rummer hybride mållayouts, hvilket tillader uafbrudt sekventiel aflejring af keramiske multi-komponentlag i en enkelt vakuumcyklus.
Konfiguration af vakuumsystem
Roughing & Roots Group:Direkte-drevet vingepumpe parret med en høj-Roots-blæser til at håndtere høje gasbelastninger under reaktiv behandling.
Højvakuumfase:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) koblet via en pneumatisk skydeventil med høj-konduktans.
Vakuum instrumentering:Interlocked Pirani og Cold Cathode dobbelt-måleropsætning, der overvåger det samlede tryk i området fra atmosfære ned til 10^-6 Pa.
Lækageintegritet:Elastomer-forseglede flanger med vand-kappet køling holder systemets lækagehastigheder under 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s.
Fordampningsmaterialer og substratkompatibilitet
Katodemålmaterialer
Overgangsmetaller og legeringer:Titan (Ti), Chrom (Cr), Zirconium (Zr), Aluminium (Al), Titan-Aluminium (TiAl 50/50, 33/67), Tungsten (W).
Ikke-metallisk:Grafit med høj-renhed (C) til diamant-som kulstof (DLC) og karbidlag.
Industrielle underlag
Værktøjsstål og karbider:High-Speed Steel (HSS), Cemented Carbides (WC-Co).
Strukturelle legeringer:Austenitisk/martensitisk rustfrit stål, titaniumlegeringer (TC4), nikkel-baserede superlegeringer (Inconel).
Ansøgninger
Præcisionsskæreværktøj:Afsætning af TiAlN og AlTiN på boremaskiner, endefræsere og gearkogeplader for at hæve overfladens hårdhed til 3300-3500 HV og hæve den termiske oxidationsmodstand op til 800 grader.
Bilteknik:Lav-friktion, slidbestandige-belægninger på brændstofindsprøjtningskomponenter, stempelringe og trykventiler.
Forme og matricer:Aflejring af kromnitrid (CrN) på plastsprøjtestøbeforme for at forhindre klæbemiddelslid, mikro-svejsning og harpiksklæbning.
Tilpasningsmuligheder
Kammerstørrelse:Geometriske modifikationer skræddersyet til overdimensionerede arkitektoniske paneler eller små værktøjskarruseller med høj-gennemstrømning.
Kildehybridisering:Integration af katodisk lysbuekilder med ubalanceret magnetron (UBM) sputtering eller HiPIMS katoder i en samlet krop.
Automatiseringsgrænseflader:Fabriksintegration af MES via OPC-UA-protokoller sammen med muligheder for automatisk indlæsning.
Kvalitetskontrol og fabrikstest
Verifikation af heliumlækage:Massespektrometer-lækagekontrol udført på alle svejsninger og vakuumtætninger.
Elsikkerhedsrevision:Hipot-isolationstest, jordforbindelseskontrol og E-stop-kredsløbsverifikation.
72-timers indbrændingstest:Kontinuerlig tør-kørsel af mekaniske rotationsdrev, vandstrømsafbrydere og PLC-ventilsekvenser før adskillelse.
Fabriksaccepttest (FAT):Udført på -stedet for at validere basisvakuumniveauer, lysbuetændingsstabilitet og basislinjetykkelsesfordeling på kalibreringskuponer.
Installation og teknisk support
Overdragelse af faciliteterskrav:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 grader), udstødningsudsugning og strømforsyningsfald (3-faset, 380V/480V).
Felt idriftsættelse:Supervision på-stedet af mekaniske og elektriske feltingeniører, der dækker justering, tilslutning og prøvepartier.
Operatøruddannelse:Strukturerede instruktioner om softwareopskriftskonfiguration, katodemåludvekslingsprocedurer og forebyggende vakuumvedligeholdelse.
Fjerndiagnostik:Sikker industriel VPN-gateway indlejret i kontrolpanelet til softwaretelemetri og support til fejlfinding.
Ofte stillede spørgsmål
Q: Hvordan håndterer systemet mikrodråber (makropartikler), der er almindelige i ufiltrerede katodisk lysbueprocesser?
A: Standardkonfigurationer bruger optimerede elektromagnetiske styrefelter til at styre buepunkthastigheden og minimere dråbeemission. Til halvleder- eller optiske applikationer, der kræver sub-mikron-defektniveauer, kan FCA-magnetiske kanalmoduler (Filtered Cathodic Arc) integreres for at fange neutrale makropartikler.
Q: Hvad er den typiske måludskiftningsomløbstid?
Sv: Katoder bruger hurtige-mekaniske fastspændingsdesign. En uddannet operatør kan udføre et komplet sæt måludskiftninger inden for 30 minutter uden at bryde strukturelle kammerforseglinger.
Spørgsmål: Kan systemet udføre automatiserede forløb med flere-lag uden operatørindblanding?
A: Ja. PLC-opskriftsmotoren styrer fler-opskrifter, administrerer automatisk overgange i reaktive gaspartialtryk, substratbiasprofilering og sekventiel strøm-kanalaktivering.
Spørgsmål: Hvad er de nøjagtige forudsætninger for grundlæggende hjælpeprogrammer for forberedelse af webstedet?
A: The installation site must supply a closed-loop industrial chiller (15-30 kW cooling capacity), clean compressed air (>= 0.6 MPa), high-purity process gases (Ar, N2, C2H2 at >= 99.999% renhed) og stabil industriel 3-faset strøm.
Populære tags: lysbuefordampningsaflejringsudstyr, Kina buefordampningsaflejringsudstyr, producenter, leverandører, fabrik
