Dette multi-bue-ion-pletteringssystem bruger katodisk lysbuefordampning til at afsætte tætte, hårde-hårde belægninger med høj vedhæftning og funktionelle tynde film. Ved at slå en lysbue med høj-lav-spænding på faste katodemål fordampes og ioniseres materialet øjeblikkeligt i et miljø med høj-vakuum. Kombineret med reaktive gasser (N2, O2 eller C2H2) syntetiserer systemet støkiometriske sammensatte belægninger direkte på metalliske eller ikke{11}}metalliske substrater. Arkitekturen er udviklet til kontinuerlig industriel fremstilling og sikrer stabil bueudbredelse, præcis støkiometrikontrol og gentagelig batch-til-batchfilmydelse.
Tekniske specifikationer
|
Parameter |
Specifikationsområde/værdi |
|
Kammerdimensioner |
Brugerdefinerede diametre fra Phi 800 mm til Phi 2000 mm (lodret eller vandret layout) |
|
Ultimativt vakuumtryk |
<= 5.0 x 10^-3 Pa (via Roots & Molecular/Diffusion pump combination) |
|
Pumpe-nedetid |
Atmosfærisk tryk til 6,0 x 10^-2 Pa in<= 15 minutes (empty, clean, dry chamber) |
|
Katodebuekilder |
4 til 16 rektangulære eller cirkulære filtrerede/ufiltrerede buekilder |
|
Bias strømforsyning |
Puls Bias Power (0 til -1000 V justerbar, frekvens 10 til 100 kHz) |
|
Rotation af underlag |
Planetarisk rotationsmekanisme med drev med variabel hastighed og uafhængig opvarmning |
|
Varmesystem |
Rustfrit stål strålevarmer array; maks. temperatur 600 grader C (+/- 5 grader C ensartethed) |
|
Kontrolsystem |
PLC + Industriel PC; automatiseret opskriftsudførelse med manuel tilsidesættelse |
|
Tilsluttet belastning |
80 kW til 250 kW (afhængig af kammervolumen og kildeantal) |
Nøglefunktioner
Filtreret katodebueteknologi:Udstyret med magnetfeltstyring og makro-partikel (dråbe) filtreringskanaler for at eliminere overfladefejl, hvilket giver ultra-glatte finish til præcisionskomponenter.
Lukket-sløjfe reaktiv gaskontrol:Massestrømskontrollere (MFC'er), der er bundet til totalt tryk og optisk emissionsfeedback, opretholder stabile partialtryk under syntese af reaktiv forbindelse.
Multi-Axis Planetary Fixture Drive:Uafhængige rotations- og omdrejningsakser sikrer ensartet ionbombardement og belægningstykkelsesfordeling på tværs af komplekse tre-dimensionelle geometrier.
Modulær vakuum VVS:ISO-standard elektro-manifolder i poleret rustfrit stål minimerer afgasning og forenkler rutinevedligeholdelsesintervaller.
Batchdatasporbarhed:Automatiseret logning af kammertryk, substratforspænding, lysbuestrøm og gasstrømningshastigheder for omfattende kvalitetsaudit.
Konfiguration af vakuumsystem
Vakuum-undersystemet- er udviklet til hurtig cykling og robust håndtering af procesbiprodukter:
Skrubbefase:Roterende vingepumper eller tørskruepumper parret med Roots-blæsere til olie-fri generering af groft vakuum.
Højvakuumstadie:Diffusionspumper med flydende nitrogen kuldefælder eller høj-turbo-molekylære pumper (TMP), udvalgt baseret på renrumskrav og cyklustidsmål.
Ventiler og måler:Pneumatiske skydeventiler og høj-afspærringsventiler. Fuldstændig-vakuummåling ved hjælp af Pirani- og Hot Cathode Ionization-målere integreret i interlock-sikkerheds-PLC'en.
Fordampningsmaterialer og substratkompatibilitet
Fordampningskatoder
Rene metaller:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl legeringer, rustfrit stål.
Legeringer/forbindelser:Brugerdefinerede sintrede mål formuleret til specialiseret hårdhed, friktionskoefficienter og oxidationsmodstand.
Underlagsmaterialer
Værktøjsstål:Høj-hastighedsstål (HSS), wolframcarbid-skær, kold-/varmt bearbejdningsstål.
Tekniske metaller:Titaniumlegeringer, strukturelt rustfrit stål, aluminium (ved hjælp af korrekt forbehandling).
Teknisk keramik:Udvalgt industriel keramik, der kræver forberedelse af ledende grænseflader.
Applikationer og specialiserede brugssager
Skære- og formværktøjer
Belægningstyper:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN.
Effektivitet:Øger overfladens hårdhed markant (op til 3000+ HV), sænker friktionskoefficienter og modstår termisk oxidation. Bevist at forlænge driftslevetiden for bor, endefræsere, kogeplader og stansematricer under høje-bearbejdningsforhold.
Bilkomponenter
Ansøgninger:Stempelringe, ventilløftere, brændstofindsprøjtningsdele og dekorative eller funktionelle udvendige beslag, der kræver anti-slid og korrosionsbestandighed.
Medicinske instrumenter
Ansøgninger:Biokompatible TiN- og TiCN-belægninger på kirurgiske skalpeller, knogleskruer og tandimplantater for at forbedre overfladepassivering og slidstyrke.
Tilpasning
Systemer er konstrueret til at matche specifikke produktionsfodaftryk og procesparametre:
Kammerstørrelse:Brugerdefinerede indvendige diametre og højder skræddersyet til maksimale batchdimensioner og armaturvægte.
Kildekonfiguration:Hybride kombinationer af buekilder og plane magnetronforstøvningskatoder til flerlags- og nanokompositarkitekturer.
Automatiseringsniveau:Semi-automatiske selvstændige celler eller fuldt integrerede produktionslinjer, der er kompatible med robotbaserede indlæsningssystemer.
Kvalitetskontrol
Helium lækagetest:Hvert vakuumkammer gennemgår strenge massespektrometer-lækagetest før frigivelse fra fabrikken (lækagehastighed<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).
Elektrisk sikkerhed:Styreskabe bygget til CE / UL overensstemmelsesstandarder med fuldt sammenlåste sikkerhedskredsløb.
Fabriksaccepttest (FAT):Testkørsler før-forsendelse, der bekræfter det ultimative tryk, varmelegemetemperaturens ensartethed og vedvarende lysbuetændingsstabilitet over en kontinuerlig 24-timers cyklus.
Installation og teknisk support
Retningslinjer for webstedsforberedelse:Omfattende forsyningslayoutdokumentation, der dækker kølevandsstrømningshastighed/-tryk, trykluft, udsugningsventilation og strømfald.
Idriftsættelse på-stedet:Erfarne proces- og mekaniske ingeniører udsendt til strukturel justering, verifikation af vakuumlækage, elektrisk tilslutning-og basislinjeopskriftsoverdragelse.
Operatøruddannelse:Praktisk-træning, der dækker rutinemæssig vedligeholdelse, udskiftning af katodemål og PLC-fejlfinding.
Fjerndiagnostik:Sikker VPN-modulintegration til-realtidssoftwareopdateringer, parameteranalyse og hurtig-reaktionsfejldiagnose.
FAQ
Spørgsmål: Hvad er den primære fordel ved multi-arc-ion-belægning sammenlignet med konventionel magnetronforstøvning?
A: Katodebuefordampning giver en høj ioniseringshastighed af det fordampede materiale (typisk 30% til 80%), hvilket resulterer i exceptionel filmadhæsion og høje aflejringshastigheder. Den er ideel til tykke, hårde keramiske slidbestandige-belægninger.
Spørgsmål: Hvordan styrer du problemet med makro-partikel (dråbe) iboende til buefordampning?
A: Vi bruger optimeret magnetfeltstyring til at flytte lysbuepunktet hurtigt hen over måloverfladen kombineret med valgfri FCA-styrekanaler (Filtered Cathode Arc), der magnetisk afbøjer ioniseret damp, mens makro-partikler fanges.
Q: Hvad er facilitetskravene for at installere dette udstyr?
A: Requirements typically include a stable 3-phase power supply, a closed-loop chilled water system (~0.2 to 0.3 MPa, 15 to 20 deg C), compressed air (>= 0.6 MPa) til pneumatiske ventiler og ventilation til procesudstødning. Specifikke hjælpetegningspakker leveres ved ordrebekræftelse.
Sp.: Kan dette system køre automatiske flerlags- eller gradientbelægninger-?
A: Ja. PLC- og receptstyringssoftwaren tillader automatiseret sekventering af gasstrømme, biasspændinger og multi-katoderotationstiming for at afsætte komplekse flerlagsarkitekturer eller gradientovergangslag.
Populære tags: multi-arc ion tyndfilm udstyr, Kina multi-arc ion tyndfilm udstyr, producenter, leverandører, fabrik
