Fysisk dampaflejring (PVD) tyndfilmsudstyr

Anhui Chunyuan Coating Technology Co., Ltd. har specialiseret sig i forskning og udvikling af avanceret fysisk dampaflejring (PVD) tyndfilmsudstyr, der leverer-belægningsløsninger med høj ydeevne til industrielle applikationer. Dette system integrerer banebrydende-teknologier såsom magnetronforstøvning, lysbuefordampning og ionplettering og er udstyret med et opgraderet elektromagnetisk filtreringssystem, der muliggør kontrollerbar aflejring af legeringer fra nano til mikro-skala, metalnitrid og kompositfilm med fremragende vedhæftning, ensartethed og tæthed.

Kerneteknologiske gennembrud omfatter det elektromagnetiske filtreringssystem og det elektromagnetiske scanningssystem kombineret med plasma-forbedret reaktiv aflejringsteknologi, som kan filtrere neutrale partikler, store partikelionklynger og andre urenheder fra, hvilket væsentligt forbedrer renheden af ​​plasmastrålen og forbereder tætte og ensartede filmmodstandsdygtige nano- og korrofilm-modstandshærdere-.

Udstyret anvender et modulært vakuumkammerdesign, udstyret med multi-buemålkombinationer og høj-densitetsplasmakilder (HDP'er), med en maksimal aflejringshastighed på op til 5 mikron pr. minut, og substrattemperaturen kan kontrolleres under 200 grader.

Derudover vedtager den også Chunyuans uafhængigt udviklede hybrid PVD-tilstand og reaktive gasioniseringsforbedringssystem, så sammenlignet med traditionelt udstyr øges belægningshårdheden til HV3500, og defektdensiteten reduceres med 60%. Systemet understøtter mere end 40 slags belægningsmaterialer såsom AlCrN, TiSiCN og ZrO₂-Al₂O₃ nano-kompositmaterialer, med den højeste hårdhed, der når 45GPa og en temperaturbestandighed på over 800 grader. Den er udstyret med en Industry 4.0-grænseflade og kan opnå ekstern parameteroptimering gennem AI-drevne aflejringsmodeller.

Dette udstyr er i øjeblikket meget udbredt inden for præcisionsdele, mikroelektronik, autodele, forbrugerelektronik og dekorative belægningsområder. Lokaliseringsraten for kernekomponenter når op på 85 %, og energiforbruget er 30 % lavere end for lignende produkter i EU, hvilket markerer et stort gennembrud inden for Kinas område for high-belægningsudstyr.