Tørætsningsudstyr

Tørætsningsudstyrer en høj-løsning til præcisionsmaterialebehandling på tværs af forskellige industrier. Bruger avanceretreaktiv ionætsning (RIE)teknologi, opnår dette udstyr ikke--berøringsfri,-restfri ætsning uden flydende kemikalier, hvilket gør det ideelt til applikationer, der kræver mikron-nøjagtighed og miljømæssig overholdelse.

Anisotropisk ætsningsevne

• Systemet kombinerer kemiske reaktioner (plasma-aktiverede arter) med retningsbestemt ionbombardement, hvilket muliggør præcise vertikale ætsningsprofiler. Dette er afgørende for at skabe mikrostrukturer på metaller (f.eks. rustfrit stål, titanlegeringer), keramik (Al₂O₃, SiC) og polymerer (PEEK, PTFE).
• Ætsningsensartethedholdes inden for ±5 % på tværs af underlag op til 800 mm i diameter, selv for komplekse geometrier.

Modulært design og skalerbarhed

• Flere ionkildekonfigurationer: Udstyret understøtter lineære, cirkulære eller radiofrekvenskoblede-ionkilder, hvilket muliggør samtidig behandling af flere emner.
• Justerbare procesparametre: Ionenergi (50–500 eV) og plasmadensitet (10¹⁰–10¹² cm⁻³) kan optimeres til at balancere ætsningshastighed (op til 30 nm/min) og overfladeglathed (Ra < 0,1 μm).

Øko-venlig drift

• Nul flydende affald: I modsætning til vådætsning eliminerer den tørre proces farlig kemisk bortskaffelse.
• Energieffektivt-design: Strømforbruget på 10 kW er 30 % lavere end traditionelle systemer, med varmeafledning styret via et lukket-sløjfe rent vandkølesystem (større end eller lig med 4 m³/h flowhastighed).

Forbedret proceskontrol

• Realtidsovervågning.-: Det integrerede pc-baserede kontrolsystem sporer vakuumniveauer (basistryk mindre end eller lig med 5,0×10⁻⁴ Pa), gasstrømningshastigheder og ionstrålestabilitet.
• Automatiserede sikkerhedsprotokoller: Overbelastningsbeskyttelse, lysbueundertrykkelse og nødstopmekanismer sikrer driftssikkerhed.

Præ- og efter-ætsningsydelse

• For-ætsning: Overflader kan udvise oxidationslag, organiske rester eller ujævne teksturer, som kompromitterer belægningens vedhæftning eller funktionelle ydeevne.
• Indlæg-ætsning: Der opnås en ren, defekt-fri overflade med kontrolleret ruhed, hvilket forbedrer efterfølgende processer såsom PVD-belægning, limning eller udskrivning.

• Optik: Ætser anti-reflekterende mikrostrukturer på linser og skærmpaneler.
• Præcisionsværktøj: Overfladeteksturering af værktøjer og forme for at forbedre slidstyrken.
• Nye energikomponenter: Strukturerende elektroder til batteri- og brændselscellesystemer.