Vakuumbelægning er en teknologi, der aflejrer metaller, legeringer, forbindelser og andre materialer på overfladen af genstande for at danne tynde film i et vakuummiljø gennem fysiske eller kemiske metoder. Her er en detaljeret introduktion:
Princip:
• Fysisk dampaflejring (PVD): Brug af fysiske processer såsom fordampning og sputtering til at omdanne belægningsmaterialer til gasformige atomer eller molekyler, som derefter deponeres på substratoverfladen for at danne tynde film. I fordampningsbelægning opvarmes for eksempel belægningsmaterialet for at fordampe til en gasformig tilstand. De gasformige atomer eller molekyler bevæger sig tilfældigt i vakuumet og afsættes på substratoverfladen, når de kommer i kontakt med det.
• Kemisk dampaflejring (CVD): Gennem den kemiske reaktion af gasformige kemiske stoffer på substratoverfladen genereres og deponeres faste stoffer til dannelse af tynde film. Under visse temperatur- og trykbetingelser nedbrydes gasformige forbindelser, der indeholder elementerne i belægningsmaterialet, og reagerer på substratoverfladen, og de resulterende faste produkter deponeres på underlaget.
Hovedmetoder:
• Vakuumfordampningsbelægning: Belægningsmaterialet anbringes i en fordampningskilde og opvarmes for at fordampe, hvilket gør det muligt for atomer eller molekyler at flygte og kondensere på underlagsoverfladen for at danne en film. Det bruges ofte til belægning af metalfilm, dielektriske film osv.
• Sputtering af belægning: En ionstråle genereret af en ionkilde bombarderer målmaterialet i belægningen, der får atomer eller molekyler til at sputre ud og deponeres på substratoverfladen for at danne en film. Det kan bruges til at belægge forskellige metal-, legerings- og sammensatte film.
• Ionbelægning: Under vakuumbetingelser ioniseres belægningsmaterialet og accelereres derefter af et elektrisk felt for at deponere på substratoverfladen. Det har stærk vedhæftning og god filmkvalitet.
Applikationsfelter:
• Optisk felt: Belægning på optiske linser kan øge transmissionen eller reducere refleksionen, forbedre billedbehandlingskvaliteten; Det kan også bruges til at fremstille spejle, filtre og andre optiske komponenter.
• Elektronisk felt: Ved fremstilling af halvlederindretning bruges det til at fremstille metalelektroder, barriere lag, isolerende lag osv.; Det kan også bruges til at belægge elektroniske komponenter for at forbedre deres slidstyrke og korrosionsbestandighed.
• Dekorativt felt: Belægning af guld, sølv, krom og andre metalfilm på overfladen af smykker, ure, hardwareprodukter osv. Kan forbedre deres æstetiske appel og glans samt øge deres slidstyrke og korrosionsbestandighed.
• Værktøjsfelt: Belægning af hårde film såsom titaniumnitrid og titaniumcarbid på overfladen af skæreværktøjer og forme kan forbedre hårdhed, slidstyrke og smøring og forlænge levetiden.
